2016年上海市科学技术奖公布丁桂甫团队项目获技术发明奖一等奖

据了解，该项目属于电子仪器仪表与自动控制领域，建立了多元兼容集成制造技术体系，由此发明了一系列典型MEMS（微机电系统）传感与驱动器，并完成了代表性器件的规模化制造和产业化应用。另外，该项目获授权专利52项、发表论文179篇，20篇代表性论文他引231次，建成了微纳集成制造上海市专业技术平台，支撑了深迪半导体、上海移宇科技等高技术企业的发展，成功开发了薄膜高温温度传感器，可满足C919配套航发验证机迫切需要。该项目成果近3年累计新增产值3亿多元，创汇3000多万美元，创汇额3年翻了2番，取得了显著的经济和社会效益。